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大型CVD氣相沉積爐
大型CVD氣相沉積爐
化學氣相沉積爐（CVD爐）是用于在特定壓力下將金屬鹵化物、金屬有機物、碳氫化合物等反應源加熱氣化后在目標材料表面反應生成固態沉積物的設備
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